Дунаев А.В.

Дунаев
Александр
Валерьевич
Подразделение: 
Кафедра технологии приборов и материалов электронной техники
Уникальный цифровой идентификатор автора в международной системе OrcID: 
0000-0001-6615-1686
Идентификатор автора на сайте Publons, для работы со списком публикаций и цитирований Web of Science: 
O-2455-2017
Идентификатор автора в базе данных Scopus: 
57078393300
Общее число публикаций на elibrary.ru: 
39
Число публикаций в российских журналах из перечня ВАК: 
31
Год первой публикации: 
2008
Число соавторов: 
15
Число публикаций за последние 5 лет: 
20
Суммарное число цитирований из публикаций на elibrary.ru: 
115
Число публикаций, процитировавших работы автора: 
42
Число ссылок на самую цитируемую публикацию: 
17
Среднее число цитирований в расчете на одну публикацию: 
2,49
Индекс Хирша по публикациям в РИНЦ: 
6
Индекс Хирша по всем публикациям на elibrary.ru: 
6
Средневзвешенный импакт-фактор журналов, в которых были опубликованы статьи: 
0,596
Средневзвешенный импакт-фактор журналов, в которых были процитированы статьи: 
0,604

Список публикаций

  1. ТРАВЛЕНИЕ GAAS В ПЛАЗМЕ СМЕСИ ФРЕОНА R-12 С АРГОНОМ (CCL2F2/AR)
    Мурин Д.Б., Дунаев А.В.
    Микроэлектроника. 2019. Т. 48. № 1. С. 38-46.
  2. ДЕГРАДАЦИЯ ФЕНОЛА ПОД ДЕЙСТВИЕМ ПЛАЗМЕННОГО РАЗРЯДА АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ
    Дунаев А.В.
    В сборнике: EurasiaScience. Сборник статей XIII международной научно-практической конференции. 2018. С. 14-15.
  3. STRUCTURING COPPER IN THE PLASMA MEDIUM OF A HIGH-FREQUENCY DISCHARGE
    Dunaev A.V., Murin D.B.
    Russian Microelectronics. 2018. Т. 47. № 4. С. 234-238.
  4. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И СПЕКТРЫ ИЗЛУЧЕНИЯ ПЛАЗМЫ ТРИХЛОРИДА БОРА
    Мурин Д.Б., Дунаев А.В.
    Микроэлектроника. 2018. Т. 47. № 2. С. 106-114.
     
  5. СТРУКТУРИРОВАНИЕ МЕДИ В ПЛАЗМЕННОЙ СРЕДЕ ВЧ-РАЗРЯДА
    Мурин Д.Б., Дунаев А.В.
    Микроэлектроника. 2018. Т. 47. № 4. С. 16-20.
  6. ИССЛЕДОВАНИЕ ТРАВЛЕНИЯ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ В РАЗРЯДЕ ПОСТОЯННОГО ТОКА В ХЛОР-ВОДОРОД СОДЕРЖАЩИХ СМЕСЯХ ПРИ НИЗКОМ ДАВЛЕНИИ
    Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    Физика плазмы. 2018. Т. 44. № 4. С. 390-396.
  7. КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ В ВЧ-РАЗРЯДЕ ФРЕОНА R-12
    Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    Микроэлектроника. 2017. Т. 46. № 4. С. 284-289.
     
  8. АСМ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ GAAS ПОСЛЕ ОБРАБОТКИ В ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ СМЕСИ ФРЕОН-АРГОН
    Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    Физика и химия обработки материалов. 2017. № 1. С. 12-16.
  9. ЗАКОНОМЕРНОСТИ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ МЕДИ С ХЛОРСОДЕРЖАЩИМИ ГАЗАМИ
    Дунаев А.В., Ситанов Д.В., Мурин Д.Б.
    Химия высоких энергий. 2017. Т. 51. № 3. С. 239-243.
     
  10. КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ В ВЧ РАЗРЯДЕ ФРЕОНА R12
    Годнев Е.М., Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    В книге: УСПЕХИ ХИМИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. Сборник тезисов докладов на III Всероссийской молодежной конференции. 2016. С. 26.
  11. СПЕКТРЫ ИЗЛУЧЕНИЯ РАЗРЯДА ФРЕОНА R -12 ПРИ ТРАВЛЕНИИ МЕДИ
    Шабадаров С.С., Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    В книге: УСПЕХИ ХИМИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. Сборник тезисов докладов на III Всероссийской молодежной конференции. 2016. С. 44.
  12. ИССЛЕДОВАНИЕ СПЕКТРОВ ИЗЛУЧЕНИЯ ПЛАЗМЫ СМЕСЕЙ (HCL + AR, H2, CL2) ПРИ ТРАВЛЕНИИ GAAS
    Дунаев А.В.
    Микроэлектроника. 2016. Т. 45. № 5. С. 357-362.
     
  13. КИНЕТИКА ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА CCL2F2 С АРСЕНИДОМ ГАЛЛИЯ
    Пивоваренок С.А., Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    Микроэлектроника. 2016. Т. 45. № 5. С. 374-378.
     
  14. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GAAS ПОСЛЕ ТРАВЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО И ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДОВ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ
    Дунаев А.В., Мурин Д.Б., Пивоваренок С.А.
    Физика и техника полупроводников. 2016. Т. 50. № 2. С. 167-170.
     
  15. ПЛАЗМЕННОЕ НАНОРАЗМЕРНОЕ СТРУКТУРИРОВАНИЕ GAAS В ВЫСОКОЧАСТОТНОМ РАЗРЯДЕ ФРЕОНАИ В СМЕСИ ФРЕОН/AR
    Дунаев А.В.
    Российские нанотехнологии. 2016. Т. 11. № 9-10. С. 29-32.
     
  16. ОБЗОР СПЕКТРОВ ИЗЛУЧЕНИЯ ПЛАЗМЫ ХЛОРА, ХЛОРОВОДОРОДА, АРГОНА И ВОДОРОДА
    Дунаев А.В.
    Микроэлектроника. 2015. Т. 44. № 3. С. 202.
     
  17. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ GAAS В ГАЗОВЫХ СМЕСЯХ HCL С ДОБАВКАМИ AR, H 2 И CL 2 ПЕРЕМЕННОГО НАЧАЛЬНОГО СОСТАВА
    Ефремов А.М., Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    Физика и химия обработки материалов. 2015. № 6. С. 52-61.
  18. КИНЕТИКА И МЕХАНИЗМЫ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ПЛАЗМЫ HCL/AR (CL 2, H 2) С ПОВЕРХНОСТЬЮ GAAS
    Дунаев А.В., Алякин Д.А.
    Физика и химия обработки материалов. 2015. № 1. С. 56-61.
  19. ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ПЛАЗМЫ СМЕСЕЙ ХЛОРОВОДОРОД - АРГОН, - ХЛОР, - ВОДОРОД С АРСЕНИДОМ ГАЛЛИЯ
    Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Мурин Д.Б.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2014. Т. 57. № 8. С. 44-47.
  20. ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ НА СКОРОСТЬ ТРАВЛЕНИЯ И КАЧЕСТВО ПОВЕРХНОСТИ GAAS ПРИ ОБРАБОТКЕ В ПЛАЗМЕ HCL-AR, HCL-CL 2, HCL-H 2
    Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Капинос С.П., Мурин Д.Б.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2014. Т. 57. № 7. С. 50-53.
  21. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GAAS ПОСЛЕ ТРАВЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ СМЕСЕЙ HCL/AR, HCL/CL2, HCL/H2 МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ
    Дунаев А.В.
    Микроэлектроника. 2014. Т. 43. № 1. С. 17.
     
  22. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ СМЕСЕЙ HCL C ИНЕРТНЫМИ И МОЛЕКУЛЯРНЫМИ ГАЗАМИ
    Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    Микроэлектроника. 2014. Т. 43. № 5. С. 363.
     
  23. СПЕКТРАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ КИНЕТИКИ ТРАВЛЕНИЯ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ В ПЛАЗМЕ ХЛОРА И ХЛОРОВОДОРОДА
    Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Капинос С.П.
    Микроэлектроника. 2013. Т. 42. № 1. С. 19.
  24. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И МЕХАНИЗМЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ GAAS В СМЕСЯХ HCL С АРГОНОМ И ХЛОРОМ
    Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М., Светцов В.И., Капинос С.П., Юдина А.В.
    Микроэлектроника. 2013. Т. 42. № 4. С. 271.
     
  25. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ПОСЛЕ ТРАВЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ ХЛОРСОДЕРЖАЩИХ ГАЗОВ
    Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Капинос С.П.
    Физика и химия обработки материалов. 2013. № 1. С. 44-46.
  26. СПЕКТРАЛЬНЫЙ КОНТРОЛЬ ПРОЦЕССА ТРАВЛЕНИЯ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ В ХЛОРОВОДОРОДЕ
    Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Капинос С.П., Ефремов А.М., Светцов В.И.
    Нанотехника. 2012. № 1 (29). С. 93-95.
  27. КИНЕТИКА И МЕХАНИЗМЫ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ НЕРАВНОВЕСНОЙ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ ХЛОРА И ХЛОРОВОДОРОДА С АЛЮМИНИЕМ И АРСЕНИДОМ ГАЛЛИЯ
    Дунаев А.В.
    диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук / Ивановский государственный химико-технологический университет. Иваново, 2011
  28. КИНЕТИКА И МЕХАНИЗМЫ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ НЕРАВНОВЕСНОЙ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ ХЛОРА И ХЛОРОВОДОРОДА С АЛЮМИНИЕМ И АРСЕНИДОМ ГАЛЛИЯ
    Дунаев А.В.
    автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук / Ивановский государственный химико-технологический университет. Иваново, 2011
  29. ИЗЛУЧЕНИЕ ПЛАЗМЫ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА
    Давлятшина А.А., Пивоваренок С.А., Дунаев А.В., Ефремов А.М., Светцов В.И.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2011. Т. 54. № 4. С. 22-25.
  30. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И ЭМИССИОННЫЕ СПЕКТРЫ ПЛАЗМЫ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В ХЛОРИСТОМ ВОДОРОДЕ
    Пивоваренок С.А., Дунаев А.В., Мурин Д.Б., Ефремов А.М., Светцов В.И.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2011. Т. 54. № 9. С. 48-52.
  31. СПЕКТРАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ТРАВЛЕНИЯ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ В ПЛАЗМЕ HCL
    Дунаев А.В., Пивоварёнок С.А., Капинос С.П., Ефремов А.М., Светцов В.И.
    Микроэлектроника. 2011. Т. 40. № 6. С. 413-417.
     
  32. ВЛИЯНИЕ СОСТАВА СМЕСИ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И СПЕКТРЫ ИЗЛУЧЕНИЯ ПЛАЗМЫ HCL O2 И HCL–AR
    Пивоваренок С.А., Дунаев А.В., Мурин Д.Б., Ефремов А.М., Светцов В.И.
    Теплофизика высоких температур. 2011. Т. 49. № 4. С. 509-512.
     
  33. Dunaev A.V., Pivovarenok S.A., Kapinos S.P., Efremov A.M., Svettsov V.I.
    Microelectronics. 2011. Т. 40. № 6. С. 413.
  34. ПЛАЗМЕННОЕ НАНОРАЗМЕРНОЕ ТРАВЛЕНИЕ GAAS В ХЛОРЕ И ХЛОРОВОДОРОДЕ
    Пивоваренок С.А., Дунаев А.В., Ефремов А.М., Светцов В.И.
    Нанотехника. 2011. № 1 (25). С. 69-71.
  35. КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ GAAS В ХЛОРНОЙ ПЛАЗМЕ
    Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М., Светцов В.И.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2010. Т. 53. № 5. С. 53-56.
  36. КИНЕТИКА И МЕХАНИЗМЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ GAAS В ХЛОРЕ И ХЛОРОВОДОРОДЕ
    Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Семенова О.А., Капинос С.П., Ефремов А.М., Светцов В.И.
    Физика и химия обработки материалов. 2010. № 6. С. 42-46.
  37. ТЕХНОЛОГИЯ ПЛАЗМЕННОГО НАНОРАЗМЕРНОГО ТРАВЛЕНИЯ МЕТАЛЛОВ И ПОЛУПРОВОДНИКОВ В БИНАРНЫХ ХЛОРСОДЕРЖАЩИХ ГАЗОВЫХ СМЕСЯХ
    Ефремов A.M., Светцов В.И., Пивоваренок С.Л., Дунаев Л.В.
    Нанотехника. 2010. № 2 (22). С. 77-80.
  38. СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ АЛЮМИНИЯ В ХЛОРЕ
    Пивоваренок С.А., Дунаев А.В., Ефремов А.М., Светцов В.И.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2008. Т. 51. № 11. С. 17-21.
  39. КИНЕТИКА И МЕХАНИЗМЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ АЛЮМИНИЯ В ХЛОРЕ
    Пивоваренок С.А., Дунаев А.В., Ефремов А.М., Светцов В.И.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2008. Т. 51. № 11. С. 70-73.