Мурин Д.Б.

Мурин
Дмитрий
Борисович
Подразделение: 
Кафедра технологии приборов и материалов электронной техники
Уникальный цифровой идентификатор автора в международной системе OrcID: 
0000-0001-9894-1076
Идентификатор автора на сайте Publons, для работы со списком публикаций и цитирований Web of Science: 
O-2199-2016
Идентификатор автора в базе данных Scopus: 
53881567600
Идентификатор профиля Google Scholar: 
faH9opIAAAAJ
Общее число публикаций на elibrary.ru: 
37
Число публикаций в российских журналах из перечня ВАК: 
30
Год первой публикации: 
2011
Число соавторов: 
20
Число публикаций за последние 5 лет: 
27
Суммарное число цитирований из публикаций на elibrary.ru: 
49
Число публикаций, процитировавших работы автора: 
30
Число ссылок на самую цитируемую публикацию: 
9
Среднее число цитирований в расчете на одну публикацию: 
1,08
Индекс Хирша по публикациям в РИНЦ: 
4
Индекс Хирша по всем публикациям на elibrary.ru: 
4
Средневзвешенный импакт-фактор журналов, в которых были опубликованы статьи: 
0,609
Средневзвешенный импакт-фактор журналов, в которых были процитированы статьи: 
0,615

Список публикаций

  1. ОСОБЕННОСТИ КИНЕТИКИ ОБЪЕМНЫХ И ГЕТЕРОГЕННЫХ ПРОЦЕССОВ В ПЛАЗМЕ СМЕСЕЙ CHF3 + AR И C4F8 + AR
    Мурин Д.Б., Ефремов А.М., Kwon K.H.
    Микроэлектроника. 2019. Т. 48. № 2. С. 125-133.
  2. ТРАВЛЕНИЕ GAAS В ПЛАЗМЕ СМЕСИ ФРЕОНА R-12 С АРГОНОМ (CCL2F2/AR)
    Мурин Д.Б., Дунаев А.В.
    Микроэлектроника. 2019. Т. 48. № 1. С. 38-46.
  3. ГАЗОФАЗНЫЕ И ГЕТЕРОГЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ В ПЛАЗМЕ ФТОРУГЛЕРОДНЫХ ГАЗОВ
    Ефремов А.М., Мурин Д.Б., Беляев С.В., Снегирев Д.Г.
    В сборнике: АКТУАЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ ЕСТЕСТВОЗНАНИЯ. Сборник материалов III Всероссийской научно-практической конференции с международным участием. Сост.: Н.Е. Егорова. 2018. С. 17-21.
  4. STRUCTURING COPPER IN THE PLASMA MEDIUM OF A HIGH-FREQUENCY DISCHARGE
    Dunaev A.V., Murin D.B.
    Russian Microelectronics. 2018. Т. 47. № 4. С. 234-238.
  5. ON THE EFFECT OF THE RATIO OF CONCENTRATIONS OF FLUOROCARBON COMPONENTS IN A CF4 + C4F8 + AR MIXTURE ON THE PARAMETERS OF PLASMA AND SIO2/SI ETCHING SELECTIVITY
    Efremov A.M., Murin D.B., Kwon K.H.
    Russian Microelectronics. 2018. Т. 47. № 4. С. 239-246.
  6. PLASMA PARAMETERS AND ACTIVE SPECIES KINETICS IN CF4+C4F8+AR GAS MIXTURE
    Efremov A.M., Murin D.B., Kwon K.H.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2018. Т. 61. № 4-5. С. 31-36.
  7. О МЕХАНИЗМАХ УВЕЛИЧЕНИЯ СТЕПЕНИ ДИССОЦИАЦИИ HCL В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА
    Ефремов А.М., Мурин Д.Б., Беляев С.В.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2018. Т. 61. № 7. С. 62-67.
  8. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И СПЕКТРЫ ИЗЛУЧЕНИЯ ПЛАЗМЫ ТРИХЛОРИДА БОРА
    Мурин Д.Б., Дунаев А.В.
    Микроэлектроника. 2018. Т. 47. № 2. С. 106-114.
  9. СТРУКТУРИРОВАНИЕ МЕДИ В ПЛАЗМЕННОЙ СРЕДЕ ВЧ-РАЗРЯДА
    Мурин Д.Б., Дунаев А.В.
    Микроэлектроника. 2018. Т. 47. № 4. С. 16-20.
  10. О ВЛИЯНИИ СООТНОШЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИЙ ФТОРУГЛЕРОДНЫХ КОМПОНЕНТОВ В СМЕСИ CF4+C4F8+AR НА ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И СЕЛЕКТИВНОСТЬ ТРАВЛЕНИЯ SIO2/SI
    Kwon K.H., Мурин Д.Б., Ефремов А.М.
    Микроэлектроника. 2018. Т. 47. № 4. С. 21-27.
  11. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСЯХ CF4 (CHF3)+ AR ПЕРЕМЕННОГО НАЧАЛЬНОГО СОСТАВА
    Ефремов А.М., Kwon K.H., Мурин Д.Б.
    Микроэлектроника. 2018. Т. 47. № 6. С. 414-423.
  12. ИССЛЕДОВАНИЕ ТРАВЛЕНИЯ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ В РАЗРЯДЕ ПОСТОЯННОГО ТОКА В ХЛОР-ВОДОРОД СОДЕРЖАЩИХ СМЕСЯХ ПРИ НИЗКОМ ДАВЛЕНИИ
    Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    Физика плазмы. 2018. Т. 44. № 4. С. 390-396.
  13. КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ В ВЧ-РАЗРЯДЕ ФРЕОНА R-12
    Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    Микроэлектроника. 2017. Т. 46. № 4. С. 284-289.
     
  14. АСМ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ GAAS ПОСЛЕ ОБРАБОТКИ В ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ СМЕСИ ФРЕОН-АРГОН
    Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    Физика и химия обработки материалов. 2017. № 1. С. 12-16.
  15. ЗАКОНОМЕРНОСТИ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ МЕДИ С ХЛОРСОДЕРЖАЩИМИ ГАЗАМИ
    Дунаев А.В., Ситанов Д.В., Мурин Д.Б.
    Химия высоких энергий. 2017. Т. 51. № 3. С. 239-243.
     
  16. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ В СМЕСЯХ HCL С ИНЕРТНЫМИ (AR, HE) И МОЛЕКУЛЯРНЫМИ (H2, CL2, O2) ГАЗАМИ
    Мурин Д.Б.
    автореферат дис. ... кандидата химических наук / Иван. гос. хим.-технол. ун-т. Иваново, 2016
  17. КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ В ВЧ РАЗРЯДЕ ФРЕОНА R12
    Годнев Е.М., Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    В книге: УСПЕХИ ХИМИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. Сборник тезисов докладов на III Всероссийской молодежной конференции. 2016. С. 26.
  18. КИНЕТИКА И КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В ВЧ ПЛАЗМЕ CHF3-AR
    Моргунов А.В., Ефремов А.М., Мурин Д.Б.
    В книге: УСПЕХИ ХИМИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. Сборник тезисов докладов на III Всероссийской молодежной конференции. 2016. С. 35.
  19. СПЕКТРЫ ИЗЛУЧЕНИЯ РАЗРЯДА ФРЕОНА R -12 ПРИ ТРАВЛЕНИИ МЕДИ
    Шабадаров С.С., Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    В книге: УСПЕХИ ХИМИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. Сборник тезисов докладов на III Всероссийской молодежной конференции. 2016. С. 44.
  20. КИНЕТИКА ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА CCL2F2 С АРСЕНИДОМ ГАЛЛИЯ
    Пивоваренок С.А., Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    Микроэлектроника. 2016. Т. 45. № 5. С. 374-378.
     
  21. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GAAS ПОСЛЕ ТРАВЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО И ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДОВ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ
    Дунаев А.В., Мурин Д.Б., Пивоваренок С.А.
    Физика и техника полупроводников. 2016. Т. 50. № 2. С. 167-170.
     
  22. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ БИНАРНЫХ СМЕСЕЙ HCL+AR, HE, H2, O2 И CL2
    Ефремов А.М., Мурин Д.Б.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2015. Т. 58. № 4. С. 14-18.
  23. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И МЕХАНИЗМЫ ТРАВЛЕНИЯ МЕТАЛЛОВ И ПОЛУПРОВОДНИКОВ В СМЕСЯХ HCL + AR, H2, O2 И CL2
    Ефремов А.М., Мурин Д.Б.
    Микроэлектроника. 2015. Т. 44. № 5. С. 338-345.
     
  24. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ GAAS В ГАЗОВЫХ СМЕСЯХ HCL С ДОБАВКАМИ AR, H 2 И CL 2 ПЕРЕМЕННОГО НАЧАЛЬНОГО СОСТАВА
    Ефремов А.М., Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    Физика и химия обработки материалов. 2015. № 6. С. 52-61.
  25. КИНЕТИКА ГЕТЕРОГЕННОЙ ГИБЕЛИ АТОМОВ ХЛОРА И ВОДОРОДА В ПЛАЗМЕ БИНАРНЫХ СМЕСЕЙ HCL + AR, H2, O2 И CL2
    Ефремов А.М., Мурин Д.Б.
    Химия высоких энергий. 2015. Т. 49. № 4. С. 318.
     
  26. ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ПЛАЗМЫ СМЕСЕЙ ХЛОРОВОДОРОД - АРГОН, - ХЛОР, - ВОДОРОД С АРСЕНИДОМ ГАЛЛИЯ
    Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Мурин Д.Б.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2014. Т. 57. № 8. С. 44-47.
  27. ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ НА СКОРОСТЬ ТРАВЛЕНИЯ И КАЧЕСТВО ПОВЕРХНОСТИ GAAS ПРИ ОБРАБОТКЕ В ПЛАЗМЕ HCL-AR, HCL-CL 2, HCL-H 2
    Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Капинос С.П., Мурин Д.Б.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2014. Т. 57. № 7. С. 50-53.
  28. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ СМЕСЕЙ HCL C ИНЕРТНЫМИ И МОЛЕКУЛЯРНЫМИ ГАЗАМИ
    Дунаев А.В., Мурин Д.Б.
    Микроэлектроника. 2014. Т. 43. № 5. С. 363.
     
  29. КИНЕТИКА И РЕЖИМЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ GAAS В УСЛОВИЯХ ИНДУКЦИОННОГО ВЧ РАЗРЯДА В CF2CL2
    Ефремов А.М., Мурин Д.Б., Левенцов А.Е.
    Микроэлектроника. 2014. Т. 43. № 6. С. 429.
     
  30. ИНТЕНСИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ И КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В СМЕСЯХ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА С АРГОНОМ И ГЕЛИЕМ
    Мурин Д.Б., Ефремов А.М., Светцов В.И., Пивоваренок С.А., Овцын А.А., Шабадаров С.С.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2013. Т. 56. № 4. С. 29-32.
  31. ИНТЕНСИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ И КОНЦЕНТРАЦИИ НЕЙТРАЛЬНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА ПОСТОЯННОГО ТОКА В СМЕСЯХ HCL-H 2 И HCL-O 2
    Мурин Д.Б., Ефремов А.М., Светцов В.И., Пивоваренок С.А., Годнев Е.М.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2013. Т. 56. № 8. С. 41-44.
  32. ВЕРОЯТНОСТИ ГЕТЕРОГЕННОЙ РЕКОМБИНАЦИИ АТОМОВ В ПЛАЗМЕ СМЕСЕЙ HCL C ИНЕРТНЫМИ И МОЛЕКУЛЯРНЫМИ ГАЗАМИ
    Мурин Д.Б., Ефремов А.М., Светцов В.И.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2013. Т. 56. № 10. С. 45-47.
  33. КИНЕТИКА И КОНЦЕНТРАЦИИ АТОМОВ ХЛОРА В ПЛАЗМЕ СМЕСЕЙ HСL–AR
    Ефремов А.М., Юдина А.В., Мурин Д.Б., Дементьев О.С., Светцов В.И.
    Химия высоких энергий. 2013. Т. 47. № 2. С. 147.
     
  34. Efremov A.M., Yudina A.V., Davlyatshina A.A., Murin D.B., Svetsov V.I.
    Progress in Biomedical Optics and Imaging. 2013. Т. 8700. С. 870003.
  35. THE EFFECTS OF ADDITIVE GASES (AR, N2, H2, CL 2, O2) ON HCL PLASMA PARAMETERS AND COMPOSITION
    Efremov A., Yudina A., Davlyatshina A., Murin D., Svettsov V.
    В сборнике: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. Сер. "International Conference Micro- and Nano-Electronics 2012" 2012. С. 870003.
  36. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И ЭМИССИОННЫЕ СПЕКТРЫ ПЛАЗМЫ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В ХЛОРИСТОМ ВОДОРОДЕ
    Пивоваренок С.А., Дунаев А.В., Мурин Д.Б., Ефремов А.М., Светцов В.И.
    Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2011. Т. 54. № 9. С. 48-52.
  37. ВЛИЯНИЕ СОСТАВА СМЕСИ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И СПЕКТРЫ ИЗЛУЧЕНИЯ ПЛАЗМЫ HCL O2 И HCL–AR
    Пивоваренок С.А., Дунаев А.В., Мурин Д.Б., Ефремов А.М., Светцов В.И.
    Теплофизика высоких температур. 2011. Т. 49. № 4. С. 509-512.